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外延炉一览
• 筒式外延炉MT7700、MT7811K
• RF平板式外延炉
• 单片式外延炉
• LPE3061&LPE2061 外延炉

MT系列外延炉性能 单片式外延炉性能 RF平板式外延炉性能
• 良好的表面质量和无滑移线
• 炉内厚度均匀性±5%
• 炉内电阻均匀性±5%
• 过渡区窄
• 减压外延
• 良好的厚度和电阻率均匀性
• 超强的加工能力
• 薄外延加工能力
• 8英寸外延片加工能力
• 高产出
• 过渡区窄
• 良好的厚度和电阻率均匀性
• 大尺寸和双腔体设计
• 厚外延加工能力
外延设备一览


Centura机台


CSD



LPE 3061


ASM E2000



外延测试设备

  • 公司具有一套完备先进的外延表征设备,以确保外延片的质量达到客户的要求。


MCV530


SSM495Hg-Probe CV System


CDE 4-Point Probe


Surface scan SP1


QS2200M Accent FTIR


ADE 9300


SSM SRP 2000


Agilent ICP MS7500CS


OLYMPUS MX50


外延辅助设备
日产130吨的超纯水系统。所产纯水电阻率达18.2MΩ,颗粒度和TOC含量极低,达到 国内领先水平。
美国Verteq公司的清洗设备。结合了超稀化学溶液和先进的兆声清洗技术,可高效 去除晶片表面的颗粒、痕量金属和有
新傲科技采用SIMOX,BONDING,SIMBOND和SSS四种方法,利用从美国和日本知名设备制造 商进口的先进设备来制备SOI材料, 以确保新傲圆片能够达到国际半导体标准, 并能够满足当今世界主流IC生产线的要求。 依靠美国MT公司强大而持续的技术支持,整合国产化衬底片良好的性价比以及以及新傲自身强大而灵活的加工能力优势,新傲向客户提供专业化得外延服务。
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